2024年11月4日消息，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，北京旭燦半導(dǎo)體科技有限公司取得一項(xiàng)名為“氣體循環(huán)裝置和晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)”的專(zhuān)利，授權(quán)公告號(hào) CN 221940690 U，申請(qǐng)日期為 2023年12月。

專(zhuān)利摘要顯示，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N氣體循環(huán)裝置和晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)。氣體循環(huán)裝置，包括熱交換器、壓縮機(jī)、冷卻環(huán)、第一流量計(jì)、浮球流量計(jì)和真空泵，熱交換器具有進(jìn)口和出口，出口與進(jìn)口通過(guò)第一管路連通;壓縮機(jī)設(shè)置在第一管路上，用于對(duì)其他進(jìn)行壓縮;冷卻環(huán)設(shè)置在第一管路上，且位于熱交換器的出口與壓縮機(jī)之間，用于對(duì)第一管路中的氣體進(jìn)行冷卻降溫;第一流量計(jì)設(shè)置在第一管路上，且位于壓縮機(jī)與熱交換器進(jìn)口之間，用于控制第一管路內(nèi)氣體的流量;浮球流量計(jì)設(shè)置在第一流量計(jì)與熱交換器進(jìn)口之間，用于顯示第一流量計(jì)與熱交換器之間是否具有氣體;真空泵一端與第一管路的第一區(qū)域通過(guò)第二管路連通，第二端與外部連通，以用于將第一管路中的氣體排空。

(關(guān)鍵字：半導(dǎo)體)