中國恩菲：不忘初心，再造硅業(yè)
——民族多晶硅產(chǎn)業(yè)開拓者的自主技術(shù)研發(fā)之路

“這是最好的時代，也是最壞的時代。”

    很長一段時間以來，伴隨世界范圍內(nèi)能源競爭的加劇，“新能源或?qū)⒁�發(fā)‘第四次工業(yè)革命’”的研判為行業(yè)所廣泛認(rèn)同。中國恩菲自主研發(fā)的多晶硅生產(chǎn)技術(shù)問世后，民族多晶硅產(chǎn)業(yè)開拓者一舉沖破國外光伏強(qiáng)國技術(shù)封鎖，登上了全球太陽能開發(fā)利用的制高點(diǎn)。而后，經(jīng)歷了2008年《華盛頓郵報》針對多晶硅環(huán)保方面的不實(shí)輿論打壓，又在2010年遭遇美、韓多晶硅低價傾銷和2012年舉世聞名的歐美“雙反”制裁，中國光伏產(chǎn)業(yè)在強(qiáng)勢崛起的同時，不可避免地遭到西方產(chǎn)業(yè)者的強(qiáng)硬打壓，可謂“命途多舛”。所幸，以中國恩菲為代表的中國光伏產(chǎn)業(yè)的“理想者”從未停止努力的腳步，更不曾放棄堅定的信念：在持續(xù)圍繞環(huán)保、成本、質(zhì)量、安全進(jìn)行技改提升，為降本增效不斷探索的道路上，他們用一點(diǎn)一滴的努力尋求逆境生存之法，他們用生生不息的堅守等待光伏產(chǎn)業(yè)撥云見日的美好未來。

    上世紀(jì)末，在中國恩菲工程技術(shù)有限公司（以下簡稱“中國恩菲”）寫給國家發(fā)改委的項(xiàng)目建議書和可行性研究中，包含這樣一張照片：待嫁的藏族少女身邊，擺放著家里準(zhǔn)備的兩樣嫁妝——電視機(jī)和光伏發(fā)電板。在光伏產(chǎn)業(yè)剛剛起步之時，照片表達(dá)了恩菲人對光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的良好預(yù)期。

    其時，我國雖擁有豐富的硅礦資源，但很長一段時間里，都難以擺脫國外技術(shù)封鎖和市場壟斷，信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)發(fā)展受制于人，舉步維艱。

    20年，在人類歷史長河中只是電光火石的短短一瞬，但對于中國多晶硅產(chǎn)業(yè)而言，卻是一段勵精圖治的艱辛歷程。如今，20年過去了，照片上的初嫁少女人到中年，昔日珍貴的光伏發(fā)電板早已如同“堂前燕”飛入尋常百姓家，“屋脊之光”通過一座座光伏電站轉(zhuǎn)化為源源不斷的清潔能源為民所用。

    20年過去，我國光伏產(chǎn)業(yè)在摸索中前行，經(jīng)歷了產(chǎn)能擴(kuò)張的突飛猛進(jìn)，經(jīng)歷了國際“雙反”的步履蹣跚，濃縮了其他產(chǎn)業(yè)上百年的發(fā)展歷程，艱難險阻，逆境崛起，浴火重生。

    20年過去，伴隨國內(nèi)完成光伏制造產(chǎn)業(yè)體系的形成，伴隨光伏大國到光伏強(qiáng)國的蛻變，中國恩菲作為民族多晶硅產(chǎn)業(yè)的開拓者和技術(shù)創(chuàng)新的旗手，形成了位居世界前十的生產(chǎn)規(guī)模，并持續(xù)豐富產(chǎn)品，延伸產(chǎn)業(yè)鏈，追隨著太陽的腳步，鑄就了一條振興民族多晶硅產(chǎn)業(yè)的輝煌道路。

    自主研發(fā)清潔生產(chǎn)技術(shù)，讓“寶石”閃耀光芒

    多晶硅是一種超高純材料，是制造基礎(chǔ)電路等半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，也是當(dāng)今光伏產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的核心材料，更是國家鼓勵優(yōu)先發(fā)展的戰(zhàn)略材料，更有“上帝賜給人類的寶石”之稱，足見其對于現(xiàn)代社會信息化和全球化解能源危機(jī)的重要作用。

    但是，在中國恩菲具有自主知識產(chǎn)權(quán)的多晶硅生產(chǎn)技術(shù)誕生之前，我國多晶硅生產(chǎn)全部依賴技術(shù)進(jìn)口，由于美、日、德技術(shù)封鎖嚴(yán)重，國內(nèi)引進(jìn)的只是落后的多晶硅生產(chǎn)技術(shù)，生產(chǎn)水平、規(guī)模、成本、能耗、環(huán)保等問題備受詬病——市場有限、技術(shù)薄弱，行業(yè)前景并不明朗。而也就是在那時，中國恩菲將目光投向光伏產(chǎn)業(yè)，對行業(yè)的光明未來給予了良好的預(yù)期，擔(dān)起助推行業(yè)發(fā)展、產(chǎn)業(yè)振興的國家責(zé)任，持續(xù)研發(fā)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)，并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

    時間回到20年前的1997年。彼時，對于行業(yè)而言，閉環(huán)三氯氫硅法生產(chǎn)多晶硅還很陌生。伴隨中國恩菲設(shè)計的年產(chǎn)百噸多晶硅試驗(yàn)示范線的成功投產(chǎn)，干法回收、氫化等多項(xiàng)技術(shù)難題得到成功破解，項(xiàng)目獲得國家優(yōu)秀工程設(shè)計銀獎，行業(yè)對技術(shù)的深入研究也邁開了跨越的腳步。2000年，中國恩菲在國內(nèi)率先開展多晶硅高效節(jié)能環(huán)保生產(chǎn)技術(shù)與裝備研究，隨后獲得國家發(fā)明專利“四氯化硅氫化制備三氯氫硅方法”授權(quán)。2002年，中國恩菲完成“年產(chǎn)2000噸三氯氫硅新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”，自主研發(fā)的“合成產(chǎn)物加壓冷凝技術(shù)”“加壓提純技術(shù)和尾氣干法回收技術(shù)”得到成功應(yīng)用，一舉解決了多晶硅生產(chǎn)過程中原料轉(zhuǎn)化率極低、絕大部分原料硅進(jìn)入尾氣并作為廢氣處理這一關(guān)鍵難題，并在節(jié)能環(huán)保方面取得顯著成效，為建設(shè)萬噸級工廠提供了良好的技術(shù)基礎(chǔ)，也更加堅定了恩菲人發(fā)展多晶硅產(chǎn)業(yè)的決心和信心。

    伴隨傳統(tǒng)化石原料的日益枯竭，以光伏太陽能為代表的新能源成為人類能源需求的極佳選擇。作為光伏發(fā)電最主要的上游原料，多晶硅逐步受到市場關(guān)注，需求日益提升。2003年，中國恩菲投資建設(shè)多晶硅生產(chǎn)子企業(yè)——洛陽中硅高科技有限公司（以下簡稱“中硅高科”），同年，完全依靠自主研發(fā)技術(shù)、自主設(shè)計、全部采用國產(chǎn)設(shè)備的國內(nèi)首條年產(chǎn)300噸多晶硅產(chǎn)業(yè)化示范線項(xiàng)目開工。和今天數(shù)萬噸的生產(chǎn)規(guī)模比起來，300噸簡直微不足道，可在那時，全國多晶硅產(chǎn)能僅80噸，從“零”開始建設(shè)如此大規(guī)模的多晶硅生產(chǎn)線，在國內(nèi)是“開天辟地”的大事。隨后，通過“研—產(chǎn)—電—硅”強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，中國恩菲多晶硅團(tuán)隊(duì)邁開了在多晶硅規(guī)模化生產(chǎn)道路上行進(jìn)的腳步，為尋找安全、高純、環(huán)保、低成本、大規(guī)模多晶硅生產(chǎn)工藝而不懈努力。

    在質(zhì)疑和壓力中，在期待和盼望里，2004年，中國恩菲完成國內(nèi)首套12對棒節(jié)能型還原爐技術(shù)及裝置研發(fā)。2005年，項(xiàng)目投產(chǎn)即達(dá)到設(shè)計指標(biāo)，標(biāo)志著我國徹底打破了國外多晶硅技術(shù)壟斷和封鎖，扭轉(zhuǎn)了對外依賴的困局。以此為良好開端，在隨后的幾年里，中硅高科相繼建設(shè)了年產(chǎn)千噸（2007年投產(chǎn)）、年產(chǎn)2000噸（2008年投產(chǎn)）多晶硅生產(chǎn)線，規(guī)模創(chuàng)國內(nèi)之最，在滿足太陽能級需求基礎(chǔ)上，部分產(chǎn)品已達(dá)到電子級標(biāo)準(zhǔn)，為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)原料自主照亮了道路。2013年，通過實(shí)施國家產(chǎn)業(yè)振興和技術(shù)改造專項(xiàng)“超高純多晶硅節(jié)能技改”，中硅高科產(chǎn)能進(jìn)入世界前十。

    伴隨副產(chǎn)物四氯化硅生產(chǎn)氣相白炭黑等項(xiàng)目（2009年）的相繼投產(chǎn)，中國恩菲以技術(shù)為引領(lǐng)，以產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目為平臺，以“多元發(fā)展”為目標(biāo)，全面實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型升級。2016年，好消息再次傳來：中硅高科中標(biāo)國家工業(yè)強(qiáng)基工程“電子級高純多晶硅”項(xiàng)目，將建設(shè)年產(chǎn)千噸電子級多晶硅生產(chǎn)線，這既體現(xiàn)出了國家對中國恩菲多年來自主研發(fā)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)的認(rèn)可，也再次賦予了中國恩菲和中硅高科以持續(xù)引領(lǐng)行業(yè)發(fā)展的“國家隊(duì)”重任。

    值得一提的是，在技術(shù)不斷完善、進(jìn)步的同時，中國恩菲在研發(fā)之初就意識到知識產(chǎn)權(quán)的重要性。由于中國光伏產(chǎn)業(yè)迅速改變了世界產(chǎn)業(yè)格局，為應(yīng)對將來可能發(fā)生的爭端，中國恩菲繼“四氯化硅氫化”“三氯氫硅提純”兩項(xiàng)技術(shù)取得突破并申請專利后，又圍繞尾氣干法回收這一核心技術(shù)組建了專利群。事實(shí)證明，當(dāng)國際打壓來臨時，專利是自主技術(shù)的最好證明，也是產(chǎn)業(yè)者能夠逆境前行的壓艙石。

    在國家大力推進(jìn)節(jié)能環(huán)保產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的今天，中國恩菲仍然沒有停歇，在技術(shù)研發(fā)和成本降低方面的努力從未停止。對此，中國恩菲副總工程師、全國勞動模范、有色行業(yè)設(shè)計大師嚴(yán)大洲這樣說：“技術(shù)創(chuàng)新沒有止境，更何況電子信息領(lǐng)域的技術(shù)日新月異，我們過去一直在追趕，現(xiàn)在是實(shí)現(xiàn)超越的時候了。”

    清潔、高效、低能耗，多晶硅生產(chǎn)告別“三高”

    當(dāng)前，盡管我國多晶硅產(chǎn)量已經(jīng)位居世界前列，但對外進(jìn)口量依然驚人。伴隨國內(nèi)光伏內(nèi)需市場的快速啟動，對多晶硅的需求將持續(xù)增長，光伏產(chǎn)業(yè)已渡過初生時的冒進(jìn)，逐步進(jìn)入理性平穩(wěn)發(fā)展階段。在此環(huán)境下，發(fā)展新能源，助力光伏崛起，仍需行業(yè)人士聚焦節(jié)能、減耗、降本，以及為此不斷創(chuàng)新，這是多晶硅生存和發(fā)展的唯一選擇，也是獨(dú)立自主發(fā)展我國多晶硅光伏產(chǎn)業(yè)的必經(jīng)之路。

    中國恩菲采用當(dāng)前多晶硅生產(chǎn)的主流工藝閉環(huán)三氯氫硅法生產(chǎn)多晶硅，以綠色環(huán)保為出發(fā)點(diǎn)，以產(chǎn)品品質(zhì)為核心，以節(jié)能降耗為理念，結(jié)合現(xiàn)有工藝流程，不斷優(yōu)化工藝路線。多年來，針對多晶硅生產(chǎn)的能耗、環(huán)保和品質(zhì)，中國恩菲攻克了大量生產(chǎn)關(guān)鍵難題。

    1.節(jié)能技術(shù)解決多晶硅生產(chǎn)的高能耗問題。

    高純多晶硅的生產(chǎn)過程是將高純?nèi)�氯氫硅用高純氫氣還原成高純多晶硅的過程，其能耗占總能耗超過50%，是實(shí)現(xiàn)多晶硅生產(chǎn)環(huán)節(jié)節(jié)能降耗的重點(diǎn)。大型節(jié)能還原爐系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)大規(guī)模化生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)品的關(guān)鍵技術(shù)之一，是解決多晶硅大規(guī)模生產(chǎn)、成本低廉、提高產(chǎn)品質(zhì)量的根本途徑。中國恩菲多晶硅研發(fā)團(tuán)隊(duì)首次創(chuàng)立節(jié)能還原爐系統(tǒng)設(shè)計方法，通過模擬優(yōu)化，大幅提高多晶硅節(jié)能還原爐單爐年產(chǎn)量，在此基礎(chǔ)上，還成功研發(fā)36對棒、48對棒、60對棒大型節(jié)能多晶硅還原設(shè)備及加壓還原工藝技術(shù)，為萬噸級多晶硅生產(chǎn)線和節(jié)能技改提供技術(shù)支撐，具有重大的市場價值和良好的產(chǎn)業(yè)化開發(fā)前景。同時將整個多晶硅工程的各種能源要素通盤考慮，冷熱綜合利用，為多晶硅低成本、低能耗經(jīng)濟(jì)運(yùn)行創(chuàng)造條件。

    2.尾氣干法回收化廢氣為資源，徹底實(shí)現(xiàn)清潔生產(chǎn)。

    多晶硅還原尾氣主要含有氫氣、氯化氫、三氯氫硅、四氯化硅等成分。過去通常采用濕法回收還原尾氣，工藝消耗大、收率低、生產(chǎn)成本高，也正為此，一段時間以來，多晶硅行業(yè)一直被冠以“高能耗、高排放、高污染”的“罪名”。

    為解決行業(yè)難題，中國恩菲及中硅高科研發(fā)團(tuán)隊(duì)開發(fā)了大型還原尾氣干法回收系統(tǒng)技術(shù)，充分利用尾氣中各組分物理化學(xué)性質(zhì)的差異，首創(chuàng)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的“加壓鼓泡淋洗—吸收—脫吸—活性炭吸附”的多晶硅尾氣分離回收利用新工藝；成功研發(fā)并建立具有自主知識產(chǎn)權(quán)的吸收塔、脫吸塔、活性炭吸附器等特殊結(jié)構(gòu)的大型裝置，實(shí)現(xiàn)單條還原尾氣處理能力滿足年產(chǎn)5000噸及以上規(guī)模多晶硅建設(shè)項(xiàng)目配套需求。過去，進(jìn)入尾氣的硅占原料超過80%，如不進(jìn)行回收，資源極大浪費(fèi)。通過尾氣干法回收技術(shù)，進(jìn)入尾氣的硅能夠得到有效收集，并分門別類進(jìn)入生產(chǎn)各個環(huán)節(jié)，將資源回收率從25%提升到99%。

    尾氣干法回收是多晶硅生產(chǎn)核心技術(shù)，中國恩菲圍繞干法回收的整體工藝、各種成分的處理、相關(guān)裝備不斷開發(fā)、改進(jìn)、優(yōu)化，組建了專利群，為民族多晶硅產(chǎn)業(yè)和自主技術(shù)提供了知識產(chǎn)權(quán)支撐和保障。目前，國內(nèi)首套大型還原尾氣干法回收裝置已經(jīng)成功應(yīng)用于中硅高科各條生產(chǎn)線，從運(yùn)行結(jié)果看，氯硅烷、氫氣、氯化氫氣體利用率分別達(dá)到98.5%、99%、99%以上，使多晶硅生產(chǎn)過程中純氫消耗從傳統(tǒng)西門子工藝的近35立方米/千克降至約0.5立方米/千克，且系統(tǒng)能夠適應(yīng)多晶硅生產(chǎn)能力的變化，有效控制“三廢”排放，減少多晶硅原料消耗30%，降低多晶硅成本，實(shí)現(xiàn)了清潔、無害化生產(chǎn)。

    3.對副產(chǎn)物四氯化硅進(jìn)行冷氫化，助力能耗降低。

    據(jù)統(tǒng)計，每生產(chǎn)1噸多晶硅產(chǎn)品將產(chǎn)生副產(chǎn)物四氯化硅20余噸，如作為廢物處理將直接影響環(huán)境、安全及企業(yè)效益。

    通過小型、半工業(yè)試驗(yàn)，中國恩菲從工藝上實(shí)現(xiàn)了將多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的四氯化硅副產(chǎn)物通過冷氫化系統(tǒng)轉(zhuǎn)化為三氯氫硅原料，返回系統(tǒng)使用，少量不能轉(zhuǎn)化返回的低品質(zhì)四氯化硅經(jīng)提純后用于氣相白炭黑生產(chǎn)，副產(chǎn)物循環(huán)利用率99%以上，多晶硅生產(chǎn)成本降低35%，通過物料的閉式循環(huán)利用，有效解決了多晶硅企業(yè)規(guī)模化生產(chǎn)的瓶頸問題。

    中國恩菲將創(chuàng)新技術(shù)集成后，在中硅高科實(shí)施產(chǎn)業(yè)化。運(yùn)行結(jié)果表明，首創(chuàng)的低溫加壓氫化生產(chǎn)工藝、創(chuàng)新研制大型低溫加壓氫化裝置和氫氣回收技術(shù)，在反應(yīng)條件、處理能力、一次轉(zhuǎn)化率和單位產(chǎn)品電耗方面都顯著優(yōu)于當(dāng)時國外氫化技術(shù)，達(dá)到國際領(lǐng)先水平。該工藝通過加壓、吸附、凈化系統(tǒng)，將活化、氫化的尾氣中氫氣全部回收，使其返回系統(tǒng)后循環(huán)使用，利用氫化高溫反應(yīng)產(chǎn)物能量加熱進(jìn)入反應(yīng)器的反應(yīng)物料技術(shù)，降低能耗達(dá)30%。

    4.提高原料純度，提升產(chǎn)品品質(zhì)。

    多晶硅純度是衡量產(chǎn)品品質(zhì)的關(guān)鍵因素。中國恩菲從提高原料三氯氫硅的純度入手，聚焦于產(chǎn)品質(zhì)量的提升：

    發(fā)明了三氯氫硅合成、高效篩板與填料組合的加壓精餾提純技術(shù)，單套高純?nèi)�氯氫硅分離能力超越當(dāng)時國內(nèi)先進(jìn)水平，提純后三氯氫硅指標(biāo)優(yōu)于國內(nèi)先進(jìn)水平，且能滿足電子級多晶硅純度要求；

    發(fā)明大型高效、加壓、高溫三氯氫硅提純及耦合工藝，減少蒸汽消耗和塔頂循環(huán)水消耗，降低能耗45%以上；

    創(chuàng)新研制大型三氯氫硅加壓合成裝置，單套系統(tǒng)年產(chǎn)能高出當(dāng)時國內(nèi)最好水平2倍以上，合成產(chǎn)物中三氯氫硅含量、氯化氫綜合利用率和硅粉利用率，分別高出當(dāng)時國內(nèi)最好水平10%、9.1%和18.6%，達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平；

    創(chuàng)新研制了合成產(chǎn)物加壓分離和尾氣全回收工藝，回收的氫氣和氯化氫氣體返回生產(chǎn)系統(tǒng)。

    國家科研項(xiàng)目支撐，擔(dān)當(dāng)振興產(chǎn)業(yè)重任

    多年來，中國恩菲研發(fā)團(tuán)隊(duì)緊緊圍繞“多晶硅高效節(jié)能環(huán)保生產(chǎn)新技術(shù)、裝備與產(chǎn)業(yè)化”實(shí)施創(chuàng)新技術(shù)研發(fā)，贏得了國家多項(xiàng)科技攻關(guān)的支持。如，國家“十一五”支撐計劃，“24對棒加壓還原爐”項(xiàng)目成功研發(fā)第三代還原爐，單爐產(chǎn)量超過6噸，能耗達(dá)到國際先進(jìn)水平；實(shí)施多項(xiàng)國家“863”計劃，“24對棒節(jié)能型多晶硅還原爐成套裝置研究”項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)單爐產(chǎn)量提高5倍，“多晶硅副產(chǎn)物利用關(guān)鍵技術(shù)研究”中，通過“高性能氣相二氧化硅制備工藝技術(shù)研究”和“氣相二氧化硅表面處理及尾氣循環(huán)利用技術(shù)研究”兩個課題，實(shí)現(xiàn)利用多晶硅生產(chǎn)副產(chǎn)物四氯化硅生產(chǎn)高品質(zhì)氣相二氧化硅的關(guān)鍵技術(shù)突破，在進(jìn)一步延伸產(chǎn)業(yè)鏈的同時，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模多晶硅生產(chǎn)線中物料的完全閉路循環(huán)。此項(xiàng)技術(shù)不但能降低多晶硅生產(chǎn)的物料消耗，也從根本上實(shí)現(xiàn)了副產(chǎn)物的綜合利用，真正實(shí)現(xiàn)多晶硅產(chǎn)業(yè)的節(jié)能減排和清潔生產(chǎn)。

    隨后，以工信部電子基金項(xiàng)目、國家發(fā)改委項(xiàng)目等為依托，中國恩菲先后完成第四代、第五代還原爐的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，成為國際單爐產(chǎn)量高、單位能耗低的節(jié)能工藝與裝備，有效解決了多晶硅生產(chǎn)中的高能耗問題。技術(shù)推廣后，使能耗降低超過66%，市場需求自給率超過50%。

    歷經(jīng)十多年攻關(guān)，中國恩菲先后完成國家“863”計劃課題3項(xiàng)、國家科技部攻關(guān)課題8項(xiàng)、國家電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金課題3項(xiàng)、省/市科技攻關(guān)重點(diǎn)項(xiàng)目6項(xiàng)、國家發(fā)改委高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化示范工程3項(xiàng)、國家發(fā)改委、工信部節(jié)能技改項(xiàng)目1項(xiàng)、中冶集團(tuán)“三五”課題1項(xiàng)，工藝改進(jìn)研發(fā)課題150多項(xiàng)，取得國際先進(jìn)水平成果10項(xiàng)、國內(nèi)領(lǐng)先水平成果2項(xiàng)，解決了一系列困擾行業(yè)多年的難題，在多晶硅高效節(jié)能環(huán)保生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)、裝備與理論研究方面取得重大突破，最終形成了具有國際競爭力的技術(shù)和產(chǎn)品。（見表一）

    國家工程實(shí)驗(yàn)室，突破技術(shù)瓶頸

    2008年，國家發(fā)改委批準(zhǔn)在中硅高科設(shè)立“多晶硅材料制備技術(shù)國家工程實(shí)驗(yàn)室”——這是國家多晶硅材料制備技術(shù)領(lǐng)域的國家級重點(diǎn)工程實(shí)驗(yàn)室，嚴(yán)大洲擔(dān)任實(shí)驗(yàn)室主任。該實(shí)驗(yàn)室依托中國恩菲，聯(lián)合國內(nèi)高等院校和多晶硅生產(chǎn)企業(yè)，共同研究突破技術(shù)瓶頸，培養(yǎng)、凝聚研發(fā)人才。

    目前，實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)按照ASTM標(biāo)準(zhǔn)，建成面積達(dá)近萬平米的6個關(guān)鍵技術(shù)試驗(yàn)平臺，包括西門子工藝研發(fā)平臺、硅烷和流化床工藝研發(fā)平臺、多晶硅深加工研發(fā)平臺、硅基電子功能材料研發(fā)平臺、硅基新能源材料研發(fā)平臺、高純后處理研發(fā)平臺，配置了篩板塔、填料塔等各種類型提純試驗(yàn)裝置，24、36、48等種類齊全的還原試驗(yàn)爐，反應(yīng)器、活化干燥器等四氯化硅氫化試驗(yàn)裝置，吸收塔、脫吸塔等特殊結(jié)構(gòu)的尾氣回收裝置及其他大型試驗(yàn)設(shè)備共計150余臺/套，可以開展大型、跨領(lǐng)域的行業(yè)關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)。實(shí)驗(yàn)室于2011年10月通過CMA計量認(rèn)證；2013年1月通過國家CNAS認(rèn)證，具備多晶硅材料相關(guān)20類產(chǎn)品、140多項(xiàng)參數(shù)的檢測能力，于2013年8月被國家人力資源和社會保障部批準(zhǔn)為博士后科研工作站設(shè)站單位。

    針對制約我國多晶硅生產(chǎn)現(xiàn)狀和需求，中國恩菲以實(shí)驗(yàn)室為平臺，開發(fā)研究大規(guī)模、低單耗、高品質(zhì)的高純多晶硅清潔生產(chǎn)工藝，形成了具有國際先進(jìn)水平的萬噸級規(guī)模多晶硅生產(chǎn)技術(shù)體系，提升了產(chǎn)業(yè)核心競爭力。以該實(shí)驗(yàn)室為基礎(chǔ)，中國恩菲建設(shè)了國家多晶硅檢測中心，配置先進(jìn)分析方法以及電感耦合等離子體質(zhì)譜儀、發(fā)射光譜儀等先進(jìn)檢測設(shè)備近百臺/套，通過了CMA計量認(rèn)證，可對外提供檢測服務(wù)，涵蓋多晶硅生產(chǎn)的原料、中間物、產(chǎn)品、環(huán)保類等58個大項(xiàng)檢測，服務(wù)全行業(yè)。

    在自主創(chuàng)新引領(lǐng)技術(shù)進(jìn)步的過程中，中國恩菲、中硅高科研發(fā)團(tuán)隊(duì)還主編、參編了多項(xiàng)國內(nèi)外行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，制定了中國多晶硅行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)體系，形成了包括質(zhì)量、能耗、設(shè)計、安全、環(huán)保在內(nèi)的全面的標(biāo)準(zhǔn)體系，建立了能耗和質(zhì)量控制要素、技術(shù)指標(biāo)和評定方法，提高了我國多晶硅行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化水平，進(jìn)一步完善了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)體系，為多晶硅產(chǎn)品升級、安全生產(chǎn)和節(jié)能減排提供了技術(shù)支撐，為民族多晶硅產(chǎn)業(yè)發(fā)展做出了突出貢獻(xiàn)，帶動了太陽能光伏和相關(guān)制造業(yè)的發(fā)展，實(shí)現(xiàn)了顯著的經(jīng)濟(jì)、社會和環(huán)境效益。（見表二）

    在此過程中，中國恩菲憑借諸多創(chuàng)新成果，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，達(dá)到國際先進(jìn)水平，獲得國家科技進(jìn)步獎、優(yōu)秀發(fā)明專利獎、省部級科技獎勵30多項(xiàng)。

    古云，天將降大任于斯人也，必先苦其心志，勞其筋骨，餓其體膚，空乏其身，行拂亂其所為，所以動心忍性，曾益其所不能。對于中國多晶硅行業(yè)而言，艱難困苦后玉汝于成者，能擔(dān)行業(yè)崛起之重任，逆境求強(qiáng)仍砥礪前行者，必引領(lǐng)行業(yè)超越之發(fā)展，而中國恩菲，已經(jīng)行進(jìn)在承行業(yè)發(fā)展之責(zé)的道路上，將為民族多晶硅產(chǎn)業(yè)振興奮斗不息，更將為推動光伏產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展砥礪前行。

(關(guān)鍵字：中國恩菲 多晶硅 光伏產(chǎn)業(yè))